德國PI六腳架Physik Instrumente傳感器介紹

六腳架在緊湊的包裝中提供六個自由度的運動。PI六腳架與測量傳感器，軟件和運動控制器相結(jié)合，使復雜的運動曲線易于控制，可滿足工業(yè)要求?？梢云ヅ潋?qū)動器類型，以滿足各個應(yīng)用程序的條件。

標準六足動物的的產(chǎn)品范圍包括用于射線線實驗中的樣品定位的微型版本，用于光纖對準的分辨率動態(tài)定位器，以及用于工業(yè)生產(chǎn)過程的設(shè)備，在這些設(shè)備中六足動物以亞微米精度定位負載。

運動六腳架提供了更多的動態(tài)運動，并且設(shè)計成可以精度地遵循預定義的軌跡，例如在相機測試臺上。

六模擬工具
平行運動學的工作空間限制會根據(jù)當前位置（平移和旋轉(zhuǎn)坐標），樞軸點的當前坐標以及所選坐標系而變化。

六腳架負載的限值也隨許多因素而變化：

六腳架的方向
質(zhì)心的負載和位置
運動平臺的位置（平移和旋轉(zhuǎn)坐標）以及
作用在六腳架運動平臺上的力和扭矩。

PI六腳架仿真工具可以并以圖形方式表示所有這些影響因素。因此，可以在設(shè)置應(yīng)用程序之前識別任何機械問題。

PI是運動和定位領(lǐng)域解決方案的供應(yīng)商。
PI（Physik Instrumente）位移平臺
在過去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的制造商。創(chuàng)業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動機始終保持不變，多年來一直是精密定位技術(shù)市場。

德國Physik Instrumente (PI)系列介紹：

1. 德國PI XY位移平臺

精度的2軸納米定位系統(tǒng)集成了PICMA®壓電執(zhí)行器。通過使用質(zhì)量的納米計量傳感器，可以實現(xiàn)具有穩(wěn)定性的可重復，無漂移的定位

用于小負載的2軸壓電掃描儀經(jīng)常用于掃描和跟蹤過程。它們的快速步進運動提高了光學系統(tǒng)的分辨率。這些包括相機技術(shù)中的成像過程和圖像識別，例如用于生物識別或文檔存檔。

型號介紹：

緊湊型XY壓電位移臺

德國PI XY位移平臺P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器：用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)

德國PI XY位移平臺P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺：行程范圍可變的高精度XY納米定位器

XY壓電撓性位移臺

德國PI XY位移平臺P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)：緊湊，帶光圈

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺：大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)

P-733.2 XY壓電納米定位器：精度XY光圈掃描儀

P-734 XY壓電掃描儀：具有小跳動和清晰光圈的高動力系統(tǒng)

P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng)：光圈清晰低剖面，經(jīng)濟的壓電掃描儀，用于生物識別：CCD芯片可在兩個軸上動態(tài)移動，以提高像素分辨率

P-713 XY壓電掃描儀：具有效益的低矮OEM系統(tǒng)

P-545.xR8SPInanoXY（Z）壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)

P-545.xC8SPInanoCap XY（Z）壓電系統(tǒng)：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInanoTrak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY（Z）平臺用于高動態(tài)顯微鏡

2.德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀

PICMA壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個固定參考為參考?？梢詫崟r地（取決于帶寬）主動補償與另一軸發(fā)生的不必要的運動串擾（主動引導）。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。

型號介紹：

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器：精度XYZ光圈掃描儀

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯(lián)運動壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)：緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺：精度納米定位器，多可容納3個軸

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-517•P-527多軸壓電掃描儀：動態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能

用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統(tǒng)：用于分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)

德國PI P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統(tǒng)：電容位置測量，用于分辨率顯微鏡

德國PI P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY（Z）平臺用于動態(tài)顯微鏡

緊湊型精密XYZ納米掃描儀

德國PI P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀：高動態(tài)納米定位系統(tǒng)，用于掃描探針顯微鏡

德國PI P-313 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀：皮克計精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡

3.德國PI 線性壓電撓性位移臺

PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導精度與小的串擾相結(jié)合。這使得它們特別適合于計量，微觀過程，干涉測量或半導體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。

帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動器和撓性導軌的線性壓電平臺可用于大1.5 mm的行程。

型號介紹：

壓電撓性線性平臺

德國PI P-630動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)：1軸大孔徑

德國PI P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺：動態(tài)穩(wěn)定

德國PI P-752高精度納米定位臺：動態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀，具有其德國PI的引導

德國PI P-750壓電納米定位系統(tǒng)：具有直接計量功能的負載壓電驅(qū)動納米定位系統(tǒng)

德國PI P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)：廉價，緊湊的線性定位系統(tǒng)

德國PI P-712線性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統(tǒng)

德國PI P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器：可變行程范圍和軸配置

德國PI壓電撓性垂直平臺

德國PI P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置

德國PI S-303壓電移相器：高動態(tài)，納米精密壓電移相器

德國PI P-733.Z高動態(tài)Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測量和通光孔徑

德國PI P-612.Z壓電Z舞臺：帶孔的緊湊型納米定位器

德國PI P-611.Z壓電Z舞臺：緊湊型納米定位器

特色

德國PI PI P-725KHDS

德國PI P-725KHDSPIFOC高動態(tài)物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率

德國PI 4.PI 微型六足動物

4，德國PI 微型六足動物

德國PI Q-Motion壓電位移臺內(nèi)置了小的6自由度運動設(shè)備，也提供手掌大小的BLDC電機六足位移臺。

使用的運動設(shè)計取決于應(yīng)用中單個軸上運動的重要性。的平行運動六腳架設(shè)計可實現(xiàn)的整體性能均勻性。當需要相對較大的線性運動時，好采用薄型設(shè)計。

好使用采用PI的利PICMA或PiezoWalk®驅(qū)動技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。

德國PI 微型六足動物H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架：快速，緊湊，精度

德國PI 微型六足動物H-811.F2 6軸微型六腳架：光纖對準的選擇

德國PI H-811.S2 6軸運動六腳架：快速而緊湊的動態(tài)應(yīng)用

德國PI H-810 6軸微型六腳架：小空間內(nèi)的高精度

德國PI P-911KNMV高壓兼容的微型壓電六腳架：即使在強磁場中也能進行精度定位

德國PI 5.PI 微型線性平臺

5，德國PI 微型線性平臺

微型階段對于在可用空間有限的定位任務(wù)中至關(guān)重要。諸如Q-motion，PIline和PiezoWalk之類的壓電電機解決方案由于具有直接驅(qū)動原理，因此可實現(xiàn)湊的平臺。

型號介紹：

德國PI帶有Q-Motion，PILine和PiezoWalk驅(qū)動器的微型平臺

德國PI 微型線性平臺U-523PILine線性平臺：帶有超聲波壓電電機的緊湊型線性平臺

德國PI 微型線性平臺Q-521 Q?Motion微型線性平臺：具有位置控制，高分辨率和價格合理的小線性平臺

德國PI PI N-565 1200精度高的N-565線性平臺：具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT壓電步進驅(qū)動器

德國PI U-521PILine線性平臺：帶有超聲波壓電電機的緊湊型線性平臺

德國PI Q-545 Q Motion精密線性平臺：壓電馬達帶來的高力和小設(shè)計，帶有PIMagVC VoiceCoil和三相直線電機，步進，直流和無刷直流電機的微型平臺

德國PI M-110•M-111•M-112緊湊型線性平臺：XY（Z）組合，具有各種驅(qū)動器和行程范圍

德國PI L-306緊湊型精密Z工作臺：緊湊設(shè)計，多軸組合

德國PI L-505緊湊型線性平臺：帶直流或步進電機

德國PI V-408PIMag®線性平臺：便宜，帶直線電機

德國PI V-508PIMag®精密線性平臺：多種選項可適應(yīng)需求

德國PI L-402微型線性平臺：帶直流或步進電機

德國PI A-141 PIglide MB微型線性平臺，帶空氣軸承：，無塵室兼容，可

德國PI V-522•V-524•V-528PIMag線性平臺：帶直接位置測量的音圈直接驅(qū)動

德國PI M-122.2DD1微翻譯平臺：具有直接位置測量功能的緊湊型線性平臺

德國PI M-105微翻譯平臺：精密交叉滾子導軌，PiezoMike選件，XY（Z）組合

德國PI MTS-65微型線性平臺：工業(yè)用途的堅固設(shè)計

德國PI L-406緊湊型線性平臺：對于10公斤的負載

6.德國PI 微型旋轉(zhuǎn)臺

帶有壓電馬達的旋轉(zhuǎn)平臺使尺寸特別緊湊。

顯微鏡的許多應(yīng)用要求自由光通過。這些緊湊的旋轉(zhuǎn)平臺還可以用于光學應(yīng)用中，在這些應(yīng)用中，它們可以地定位濾光片，并具有的可重復性。

旋轉(zhuǎn)平臺可以安裝在沒有適配器的線性平臺上，并且可以靈活組合多軸定位系統(tǒng)。

德國PI 帶有Q-Motion和PILine驅(qū)動器的微型旋轉(zhuǎn)臺

德國PI U-622PILine®旋轉(zhuǎn)平臺：超聲波壓電馬達微型載物臺 ，具有薄型設(shè)計的U-651旋轉(zhuǎn)平臺，快速PILine®直接驅(qū)動和中央開口

德國PI U-624PILine®旋轉(zhuǎn)平臺：超聲波壓電馬達微型載物臺

德國PI Q-632 Q Motion®旋轉(zhuǎn)臺：緊湊型壓電電機：轉(zhuǎn)臺直徑30 mm，帶有步進，直流和無刷直流（BLDC）電機的微型旋轉(zhuǎn)臺

德國PI 微型旋轉(zhuǎn)臺V-611PIMag®旋轉(zhuǎn)平臺：扭矩的扁平設(shè)計，大承重2 kg

德國PI RS-40緊湊型旋轉(zhuǎn)臺：確定位

德國PI 微型旋轉(zhuǎn)臺V-610緊湊型PIMag旋轉(zhuǎn)臺：緊湊，適用于M-110的多軸組合

德國PI DT-80緊湊型旋轉(zhuǎn)臺：大光圈

德國PI DT-34微型旋轉(zhuǎn)臺：尺寸緊湊，帶直流或步進電機

7.德國PI 空氣軸承和位移臺

空氣軸承臺用于需要無振動運動，速度必須高度恒定且要求角度重復性的場合。

空氣軸承避免了摩擦，磨損和間隙效應(yīng)。PIglide線性，旋轉(zhuǎn)和球面軸承是精密組件，可以集成和電動化用于OEM，工業(yè)和研究市場。

型號介紹：

帶空氣軸承的線性平臺

德國PI 空氣軸承和位移臺A-131 PIglide VC音圈線性平臺，帶空氣軸承：微型納米定位系統(tǒng)

德國PI 空氣軸承和位移臺A-110 PIglide LC線性平臺，帶空氣軸承：廉價的納米定位臺

德國PI 空氣軸承和位移臺A-141 PIglide MB微型線性平臺，帶空氣軸承：，無塵室兼容，可

德國PI  A-123 PIglide AT3線性平臺，帶空氣軸承：性能納米定位臺

德國PI A-121 PIglide AT1線性平臺，帶空氣軸承：性能小尺寸納米定位臺

帶空氣軸承的XY位移臺

德國PI A-351帶直線電機的MGS龍門系統(tǒng)：堅固的緊湊型設(shè)計，帶循環(huán)滾珠軸承導軌，可實現(xiàn)負載能力。

德國PI A-341 PIglide HGS混合龍門系統(tǒng)：帶有空氣軸承和循環(huán)球軸承導軌的混合導軌設(shè)計，可實現(xiàn)高精度，薄型化。

德國PI A-322 PIglide HS平面掃描儀，帶空氣軸承：XY定位系統(tǒng)，分辨率為1 nm

德國PI  A-311 PIglide IS平面掃描儀，帶空氣軸承：，緊湊型XY納米定位系統(tǒng)

空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺

德國PI A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉(zhuǎn)平臺：無摩擦，電動

德國PI A-62x PIglide RM旋轉(zhuǎn)平臺，帶空氣軸承：無摩擦，是分度，定位，掃描，測量技術(shù)的選擇

德國PI PIglide運動控制器

德國PI A-81x PIglide運動控制器：用于1、2或4個軸

德國PI A-60x PIglide RT旋轉(zhuǎn)空氣軸承模塊：無摩擦，非電動

德國PI A-10x PIglide RB線性空氣軸承模塊：無摩擦，非常適合定位，掃描和計量

德國PI A-65x PIglide HB：半球形空氣軸承：無摩擦，是三軸旋轉(zhuǎn)運動的選擇

PI（Physik Instrumente）位移平臺不僅針對線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器。PI還使這些解決方案適應(yīng)客戶的應(yīng)用，或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

該控件是重要的系統(tǒng)組件，也由PI提供。這不僅提供了復雜的控制概念，還為應(yīng)用程序環(huán)境提供了硬件和軟件接口。

PI（Physik Instrumente）位移平臺無論是標準產(chǎn)品還是開發(fā)產(chǎn)品，無論是OEM驅(qū)動器還是集成系統(tǒng)，目標始終是為每種可能的應(yīng)用提供解決方案。

PI（Physik Instrumente）應(yīng)用領(lǐng)域：
現(xiàn)在，在許多應(yīng)用領(lǐng)域中必須達到定位精度。半導體制造，顯微鏡，表面測量技術(shù)，生物技術(shù)，醫(yī)學工程和自動化技術(shù)通常需要具有納米分辨率和可重復性的定位系統(tǒng)。除此之外，還要求響應(yīng)時間短，真空兼容的設(shè)計和在寬溫度范圍內(nèi)的功能。

六腳架支持工業(yè)機器人
由于在生產(chǎn)和質(zhì)量流程中對多軸機器人以及精密機器人的需求正在增長，因此行業(yè)正在尋找新型的機器人技術(shù)。PI為這些任務(wù)提供了并聯(lián)運動六足架。六軸機器人可以在任何空間方向上高精度地移動重量從幾公斤到幾噸的工具，工件甚至復雜的組件，而與安裝方向無關(guān)。由于六腳架可以通過現(xiàn)場總線接口直接與PLC或CNC控制器通信，因此用戶可以輕松地將定位系統(tǒng)集成到自動化環(huán)境中。

德國PI六腳架Physik Instrumente傳感器介紹 自20世紀初以來，汽車工業(yè)一直在利用并行運動學來測試汽車輪胎。系統(tǒng)供應(yīng)商今天也使用此技術(shù)。它們將六腳架集成到坐標測量機中以校準前照燈，從而滿足對精度的要求。六足機器人也可以與工業(yè)機器人一起在生產(chǎn)線上使用，以補償機械臂的誤差。